清华大学机械工程系首席研究员，华海清科股份有限公司董事长、首席科学家，于吉林（工业）大学获本科和硕士学位，于中国科学院金属研究所获博士学位。2008年获国家杰出青年科学基金资助，2009年受聘教育部长江学者特聘教授，入选国家科技创新创业人才计划，获国务院政府特殊津贴，荣获全国五一劳动奖章等荣誉。长期从事纳米摩擦学、纳米制造理论与技术研究，先后负责国家科技重大专项02专项、国家自然科学基金重大项目等10多项国家级重大科研项目，发表SCI收录论文200余篇，获授权发明专利约200件，并将研究成果应用于集成电路化学机械抛光和减薄关键技术与装备中，带领团队研制出国内首台12英寸化学机械抛光装备、国内首台12英寸超精密减薄—化学机械抛光一体机，打破国外垄断，实现国产替代，获得国内集成电路大生产线广泛应用并得到好评。获国家技术发明一等奖（2023，排名1）、国家科技进步二等奖（2008，排名2）、国家自然科学二等奖（2018，排名3）等多项国家和省部级奖励。