何梁何利科学与技术进步奖、全国创新争先奖获得者；中国机械工程学会常务理事，中国微米纳米技术学会会士/常务理事，国际工程与技术研究会Fellow。在MEMS研究方面获国家技术发明二等奖3项、国家教学成果一等奖1项，授权国家发明专利86项；出版MEMS专著4部、教材2部，在本领域顶级期刊IEEE/ASME J. MEMS以及科学通报、机械工程学报、NAT COMMUN.等国内外著名期刊发表高质量论文300余篇。培养出全国百篇优秀博士论文奖、“玛丽居里学者”、“洪堡学者”、IEEE MEMS杰出论文奖，以及“长江学者”、“卓青”、“万人”等国家级科技领军人才5人、“青年拔尖”和国家优青基金等国家级人才8人。